電子工業(yè)超純水設(shè)備通常由多介質(zhì)過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等構(gòu)成預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機(jī)系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。原水箱、中間水箱、RO純水水箱、超純水水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、高低壓水泵均設(shè)有高低壓壓力保護(hù)裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,做到了無人值守。
主要應(yīng)用
1、大規(guī)模集成電路元器件的生產(chǎn)用水,一般電阻率均大于18MO-CM。按國家有關(guān)用水標(biāo)準(zhǔn)(GB/T11446.1-1997)執(zhí)行。
2、電子元件廠,在焊接和組裝過程中的沖洗用水。依據(jù)電子元件生產(chǎn)工藝不同,其用水標(biāo)準(zhǔn)中(即GB/T11446.1-1997)有可為四級(一級最高電導(dǎo)率18MO-CM以上,二級電阻率不低于15MO-CM,3級電阻率12MO-CM, 4級為0.5MO-CM)。
應(yīng)用范圍
1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路成品、半成品用超純水;
2、超純材料和超純化學(xué)試劑勾兌用超純水;
3、實(shí)驗(yàn)室和中試車間用超純水;
4、汽車、家電表面拋光處理;
5、光電子產(chǎn)品;
6、其他高科技精微產(chǎn)品。