一、電子行業(yè)用水簡介
半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,線寬越窄,對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子水質(zhì)技術(shù)分為五個(gè)行業(yè)等,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。
二、應(yīng)用范圍
1、電子、電力、電鍍、照明電器、實(shí)驗(yàn)室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗(yàn)、生物、制藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等域。
2、化工工藝用水、化學(xué)藥劑、化妝品等用純水。
3、單晶硅、半導(dǎo)體晶片切割制造、半導(dǎo)體芯片、半導(dǎo)體封裝 、引線柜架、集成電路、液晶顯示器、導(dǎo)電玻璃、顯像管、線路板、光通信、電腦元件、電容器潔凈產(chǎn)品及各種元器件等生產(chǎn)工藝用純水。
設(shè)備參數(shù)
1、系統(tǒng)回收率:
超濾≥90%
一反滲透≥75%
二反滲透≥85%
EDI系統(tǒng)≥90%
2、設(shè)備產(chǎn)水符合《電子超純水國家標(biāo)準(zhǔn)》 (GB/T1144.6.1-1997)或美國半導(dǎo)體工業(yè)純水指標(biāo)。
3、單支膜脫鹽率≥99.5%(水溫25℃)。