超純水處理設(shè)備的工藝流程大致分成以下幾種
1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→陽床→陰床→混床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點。
2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進(jìn)行組合的方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→反滲透設(shè)備→純水箱→混床(復(fù)床)→超純水箱→超純水泵→后置精密過濾器→用水點。
3、采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備進(jìn)行搭配的的方式,這是一種制取超純水的新工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟,發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に嚕浠竟に嚵鞒虨椋涸程窟^濾器→精密過濾器→反滲透設(shè)備→純水箱→電去離子(EDI)→超純水箱→超純水泵→后置緊密過濾器→用水點。
三種制備工業(yè)用超純水的工藝比較目前制備電子工業(yè)用超純水的工藝基本上是以上三種,其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎(chǔ)上進(jìn)行不同組合搭配衍生而來。